Placa de fixação a vácuo de cerâmica porosa para manuseio de wafers deformados
O suporte cerâmico poroso da St.Cera é fabricado com alumina de alta pureza, apresentando uma porosidade aberta uniforme de 30 a 45% e tamanhos de poros que variam de 10 a 100 μm. Ao contrário dos suportes ranhurados convencionais, a superfície porosa proporciona um vácuo distribuído por toda a parte traseira do wafer, segurando com eficácia wafers deformados, finos ou individuais, sem que as bordas se desprendam ou quebrem. O vácuo suave (ajustável por meio de um restritor) também evita marcas na parte traseira.
Especificações(com base em 99,6% de Al₂O₃):
| Propriedade | Valor |
| Porosidade | 30–45% |
| Tamanho médio dos poros | 10–100 μm (selecionável) |
| Resistência à flexão | ≥250 MPa |
| Planicidade (acima de 300 mm) | ≤5 μm |
| Acabamento da superfície | Lapidado (Ra 0,8 μm) |
| Nível máximo de vácuo | -80 kPa |
| Temperatura de operação | 400°C (ar), 600°C (inerte) |
| Material | 99,6% Al₂O₃, ZrO₂ ou SiC |
Aplicações:
retificação da face posterior de wafers finos (≤50 μm)
Montagem de wafers deformados para corte
Captura individualizada de dados a partir de fita
Manuseio de painéis de vidro
Fabricação e Qualidade:
Pó cerâmico misturado com agentes porogênicos orgânicos → prensado → sinterizado → lapidado até a espessura final. Cada placa é testada quanto à uniformidade do vácuo (desvio ≤ 5%) e inspecionada quanto à distribuição do tamanho dos poros (MEV). A planicidade é medida com interferômetro a laser.
Vantagens em relação aos mandris ranhurados:
Sem marcação da borda do wafer ou deslocamento do chip
Suporta wafers deformados (com curvatura de até 500 μm).
Elimina o entupimento do orifício de vácuo
Suporte autonivelante para substratos finos
Personalização:
Formatos redondos ou retangulares, com dimensões até 600 mm. Podemos aplicar anéis de vedação nas bordas ou divisórias a vácuo por zona. Versões com reforço metálico disponíveis para requisitos de alta rigidez.
Solicite uma amostra para o teste de tamanho e empenamento do seu wafer.
