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Efetor final de cerâmica de alumina de alta pureza para robôs de manuseio de wafers
O atuador final de cerâmica de alumina da St.Cera é usinado com precisão a partir de Al₂O₃ de alta pureza (99,8%) utilizando equipamentos avançados de retificação CNC de 5 eixos. Nossas capacidades de fabricação incluem retificadoras de precisão e centros de usinagem CNC, permitindo geometrias complexas com alta precisão. O atuador final apresenta um perfil fino (com espessura de até 1,5 mm) com uma borda de ataque afilada para inserção suave do wafer. O material proporciona alta rigidez (módulo de Young de 380 GPa), excelente resistência ao desgaste e estabilidade térmica de até 800 °C. Cada unidade é retificada com precisão para atingir planicidade de 0,003 mm, paralelismo de 0,002 mm e acabamento superficial de Ra 0,1, garantindo contato consistente com o wafer e operação livre de partículas em ambientes de fabricação de semicondutores. Disponível em comprimentos de 150 mm a 450 mm, com geometrias de ponta personalizadas (garra de borda, Bernoulli, plana) e flanges de montagem para adaptação a robôs OEM. As opções de acabamento de superfície incluem lapidação, polimento ou revestimento dissipativo ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq).
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ST.CERA Efetor final Bernoulli de cerâmica de alumina personalizado
Como fabricante líder de braços de manuseio/efetores finais de cerâmica, desenvolvemos um braço de manuseio/efetor final inovador que atende às necessidades desse mercado. Baseado no princípio de Bernoulli, esse braço de manuseio/efetor final de cerâmica permite a levitação e o transporte do wafer por meio de fluxo de ar com contato periférico mínimo.
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ST.CERA ESD Ceramic personalizado com atuador final
Com características como alta resistência à temperatura, resistência à corrosão, resistência à abrasão e isolamento, a cerâmica pode ser utilizada em diversos tipos de equipamentos de produção de semicondutores em condições de alta temperatura, vácuo ou gases corrosivos por longos períodos.
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ST.CERA Efetor final de fixação personalizado em cerâmica de alumina
Graças às suas características de alta resistência à temperatura, resistência à corrosão, resistência à abrasão e isolamento, a cerâmica pode ser utilizada por longos períodos em diversos tipos de equipamentos de produção de semicondutores, mesmo em condições de alta temperatura, vácuo ou gases corrosivos.
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Efetor final de bandeja de cerâmica de alumina personalizada ST.CERA
Trata-se de um braço de manuseio/efetor final de cerâmica tipo bandeja, utilizado em condições de vácuo.
O braço de manuseio/efetor final de cerâmica é "mais resistente ao calor", "menos deflectivo" e "mais leve" em comparação com os de metal.
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ST.CERA Efetor final de vácuo de cerâmica de alumina personalizada
Graças às suas características de alta resistência à temperatura, resistência à corrosão, resistência à abrasão e isolamento, a cerâmica pode ser utilizada por longos períodos em diversos tipos de equipamentos de produção de semicondutores, mesmo em condições de alta temperatura, vácuo ou gases corrosivos.
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ST.CERA Efetor final de cerâmica de alumina personalizado
A ST.CERA oferece revestimento ESD e material cerâmico ESD para atuadores finais. Fabricados com pó de alumina de alta pureza, processados por prensagem isostática a frio, sinterização em alta temperatura e acabamento de precisão, podem atingir tolerância dimensional de ±0,001 mm, acabamento superficial Ra 0,1 e resistência à temperatura de 1600℃.
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ST.CERA Efetor final de vácuo de cerâmica de alumina personalizado
Trata-se de um braço de manuseio/efetor final de cerâmica tipo bandeja, utilizado em condições de vácuo.
O braço de manuseio/efetor final de cerâmica é "mais resistente ao calor", "menos deflectivo" e "mais leve" em comparação com os de metal.
Graças às suas características de alta resistência à temperatura, resistência à corrosão, resistência à abrasão e isolamento, a cerâmica pode ser utilizada por longos períodos em diversos tipos de equipamentos de produção de semicondutores, mesmo em condições de alta temperatura, vácuo ou gases corrosivos.
Fabricado a partir de pó de alumina de alta pureza, processado por prensagem isostática a frio, sinterização a alta temperatura e acabamento de precisão, pode atingir uma tolerância dimensional de ±0,001 mm, acabamento superficial Ra 0,1 e resistência à temperatura de 1600℃.
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Manuseio de wafers com atuador final de cerâmica de alumina personalizada ST.CERA
A ST.CERA oferece revestimento ESD e material cerâmico ESD para braços de manuseio/efetores finais com canal oco integrado. Somos especializados em uma técnica que forma um canal de vácuo dentro de uma única peça de material sem o uso de adesivo.
Não há risco de contaminação, desgaseificação ou partículas. O braço de manuseio/efetor final a vácuo da ST.CERA, com tecnologia de revestimento especial, possui isolamento elétrico. Também podemos fornecer material cerâmico ESD com isolamento elétrico sem qualquer revestimento.
Fabricado a partir de pó de alumina de alta pureza, processado por prensagem isostática a frio, sinterização a alta temperatura e acabamento de precisão, pode atingir uma tolerância dimensional de ±0,001 mm, acabamento superficial Ra 0,1 e resistência à temperatura de 1600℃. -
Componentes de equipamentos semicondutores com atuador final de cerâmica de alumina
Evitar a dispersão de partículas que podem ser geradas pelas bordas chanfradas ou angulares e pela superfície traseira durante o transporte dos wafers ou quando estes entram em contato com o atuador final/braço de manuseio.
Para as guias, foi adotado um material macio que não danifica o wafer.
O afinamento é possível graças à tecnologia de canal de vácuo integrada da ST.CERA, que não utiliza adesivos.
É possível fazer furos de montagem e alterar o comprimento e a largura da base onde o atuador final/braço de manipulação é montado no robô.
Sensores de montagem, parafusos e suportes estão disponíveis como opcionais.
Projetado para ser usado na atmosfera.
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Usinagem CNC personalizada do atuador final de cerâmica St.Cera
A ST.CERA oferece um braço de manuseio/efetor final de cerâmica a vácuo com um canal oco integrado. Somos especializados em uma técnica que forma um canal de ar a vácuo dentro de uma única peça de material, sem o uso de adesivo.
Não há risco de contaminação, desgaseificação ou partículas. O braço de manuseio/efetor final a vácuo da ST.CERA, com canal integrado, é durável e pode ser usado em altas temperaturas. Além disso, nosso custo de fabricação pode ser reduzido eliminando montagens desnecessárias.
Fabricado a partir de pó de alumina de alta pureza, processado por prensagem isostática a frio, sinterização a alta temperatura e acabamento de precisão, pode atingir uma tolerância dimensional de ±0,001 mm, acabamento superficial Ra 0,1 e resistência à temperatura de 1600℃.
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Efetor final de cerâmica antiestática de alumina
Graças às suas características de alta resistência à temperatura, resistência à corrosão, resistência à abrasão e isolamento, a cerâmica pode ser utilizada por longos períodos em diversos tipos de equipamentos de produção de semicondutores, mesmo em condições de alta temperatura, vácuo ou gases corrosivos.
Fabricado a partir de pó de alumina de alta pureza, processado por prensagem isostática a frio, sinterização a alta temperatura e acabamento de precisão, pode atingir uma tolerância dimensional de ±0,001 mm, acabamento superficial Ra 0,1 e resistência à temperatura de 1600℃.
