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Anel de isolamento de alumina para sistemas de deposição física de vapor (PVD)
O anel de isolamento PVD da St.Cera é fabricado com alumina de alta pureza (Al₂O₃) a 99,8% para uso em sistemas de deposição física de vapor (PVD). O anel proporciona isolamento elétrico entre os componentes da câmara, prevenindo arcos elétricos e garantindo a operação estável do plasma. Suas principais propriedades incluem alta rigidez dielétrica (15×10⁶ V/m), resistividade >10¹⁴ Ω·mm²/m e estabilidade térmica de até 1600 °C. Nossas capacidades de usinagem de precisão permitem atingir diâmetros externos de até 600 mm, diâmetros internos de até 0,2 mm, planicidade de 0,003 mm e acabamento superficial Ra0,1. A porosidade zero e a inércia química do anel garantem confiabilidade a longo prazo em ambientes agressivos de pulverização catódica.
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Componentes de cerâmica de alumina para sistemas de evaporação de pistolas de elétrons
A St.Cera fabrica componentes cerâmicos de alumina de alta pureza (99,8%) projetados especificamente para sistemas de evaporação por feixe de elétrons (canhão de elétrons). Essas peças incluem revestimentos de cadinhos, defletores de feixe, isoladores e dispositivos de montagem. O material oferece alta rigidez dielétrica (15×10⁶ V/m), estabilidade térmica de até 1600 °C e excelente resistência a choques térmicos e ataques químicos provenientes de materiais evaporados. Nossas capacidades de usinagem de precisão permitem a obtenção de geometrias complexas com dimensões mínimas de 0,2 mm, planicidade de 0,003 mm e acabamento superficial Ra 0,1. Cada peça é 100% inspecionada por CMM para garantir a precisão dimensional.
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Peças cerâmicas personalizadas ST.CERA com 99,5% de alumina.
Peças estruturais cerâmicas é um termo geral para peças cerâmicas de formatos complexos. Fabricadas a partir de pó cerâmico de alta pureza, essas peças são moldadas por prensagem a seco ou prensagem isostática a frio, sinterizadas em alta temperatura e, posteriormente, usinadas com precisão. São amplamente utilizadas nas indústrias de semicondutores, comunicação óptica, laser, equipamentos médicos, petróleo, metalurgia e eletrônica, devido a características como resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão, resistência à abrasão e isolamento.
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Braço de carregamento ST.CERA personalizado em cerâmica de alumina 99,5%
O braço de manuseio/efetor final de cerâmica é instalado em robôs de manuseio de wafers, também conhecidos como "efetores finais", e é usado para transportar wafers de silício para dentro ou para fora de cassetes ou câmaras de processamento.
As vantagens da utilização de cerâmica incluem a redução da deflexão devido à elevada resistência à flexão, a resistência a altas temperaturas e a eliminação da contaminação por metais e partículas. -
Componentes cerâmicos personalizados ST.CERA com 99,5% de alumina.
Fabricados com pó cerâmico de alta pureza, os componentes cerâmicos são formados por prensagem a seco ou prensagem isostática a frio, sinterizados em alta temperatura e, em seguida, usinados com precisão. São amplamente utilizados em equipamentos semicondutores, comunicação óptica, laser, equipamentos médicos, indústrias de petróleo, metalurgia e eletrônica, devido a características como resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão, resistência à abrasão e isolamento.
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Braço de manuseio de wafers de cerâmica de alumina de precisão para semicondutores.
Graças às suas características de alta resistência à temperatura, resistência à corrosão, resistência à abrasão e isolamento, a cerâmica pode ser utilizada por longos períodos em diversos tipos de equipamentos de produção de semicondutores, mesmo em condições de alta temperatura, vácuo ou gases corrosivos.
Fabricado a partir de pó de alumina de alta pureza, processado por prensagem isostática a frio, sinterização a alta temperatura e acabamento de precisão, pode atingir uma tolerância dimensional de ±0,001 mm, acabamento superficial Ra 0,1 e resistência à temperatura de 1600℃.
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Braço de cerâmica de alumina isolado para componentes de equipamentos semicondutores
Evitar a dispersão de partículas que podem ser geradas pelas bordas chanfradas ou angulares e pela superfície traseira durante o transporte dos wafers ou quando estes entram em contato com o atuador final/braço de manuseio.
Para as guias, foi adotado um material macio que não danifica o wafer.
O afinamento é possível graças à tecnologia de canal de vácuo integrada da ST.CERA, que não utiliza adesivos.
É possível fazer furos de montagem e alterar o comprimento e a largura da base onde o atuador final/braço de manipulação é montado no robô.
Sensores de montagem, parafusos e suportes estão disponíveis como opcionais.
Projetado para ser usado na atmosfera
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Cerâmica de alumina de precisão com alta resistência à temperatura
Fabricado com pó cerâmico de alta pureza, o tubo cerâmico é formado por prensagem a seco ou prensagem isostática a frio, sinterizado em alta temperatura e, em seguida, usinado com precisão. Com diversas vantagens, como resistência à abrasão, resistência à corrosão, alta dureza, alta tenacidade e baixo coeficiente de atrito, é amplamente utilizado em equipamentos médicos, máquinas de precisão, lasers, metrologia e equipamentos de inspeção. Pode operar em ambientes ácidos e alcalinos por longos períodos, suportando temperaturas máximas de até 1600 °C.
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Haste de cerâmica de alumina resistente a alta pressão e desgaste
Fabricada com pó cerâmico de alta pureza, a haste cerâmica é formada por prensagem a seco ou prensagem isostática a frio, sinterizada em alta temperatura e, em seguida, usinada com precisão. Apresenta diversas vantagens, como resistência à abrasão e à corrosão, alta dureza, alta tenacidade e baixo coeficiente de atrito, sendo amplamente utilizada em equipamentos médicos, máquinas de precisão, lasers, metrologia e equipamentos de inspeção. Pode operar em ambientes ácidos e alcalinos por longos períodos, suportando temperaturas máximas de até 1600 °C.
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Manga de eixo de cerâmica de alumina Êmbolo de cerâmica
Fabricada com pó cerâmico de alta pureza, a haste cerâmica é formada por prensagem a seco ou prensagem isostática a frio, sinterizada em alta temperatura e, em seguida, usinada com precisão. Com diversas vantagens, como resistência à abrasão, resistência à corrosão, alta dureza, alta tenacidade e baixo coeficiente de atrito, é amplamente utilizada em equipamentos médicos, máquinas de precisão, lasers, metrologia e equipamentos de inspeção. Pode operar em ambientes ácidos e alcalinos por longos períodos, e a temperatura máxima pode chegar a 1600 °C. Os materiais cerâmicos que normalmente utilizamos são zircônia, alumina (Al₂O₃) com pureza de 95% a 99,9%, nitreto de silício (Si₃N₄), nitreto de alumínio (AlN) e outros.
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Excelente desempenho de componentes estruturais mecânicos de cerâmica de alumina.
Peças estruturais de cerâmica é um termo geral para peças cerâmicas de formatos complexos. Fabricadas a partir de pó cerâmico de alta pureza, as peças são moldadas por prensagem a seco ou prensagem isostática a frio, sinterizadas em alta temperatura e, em seguida, usinadas com precisão. São amplamente utilizadas em equipamentos semicondutores, comunicação óptica, laser, equipamentos médicos, indústria petrolífera, metalúrgica e eletrônica.
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Componentes estruturais de cerâmica de alumina, peças estruturais
Peças estruturais de cerâmica é um termo geral que engloba diversas peças cerâmicas de formatos complexos. Elas são formadas por prensagem a seco ou prensagem isostática a frio, sinterizadas em alta temperatura e, em seguida, usinadas com precisão.
Fabricado a partir de pó de alumina de alta pureza, processado por prensagem isostática a frio, sinterização a alta temperatura e acabamento de precisão, pode atingir uma tolerância dimensional de ±0,001 mm, acabamento superficial Ra 0,1 e resistência à temperatura de 400℃ a 800℃.
