Componentes cerâmicos de alumina resistentes a ESD para manuseio de wafers sensíveis à estática

As peças cerâmicas de alumina da St.Cera, resistentes a ESD (descarga eletrostática), são fabricadas com Al₂O₃ de alta pureza (99,8%) e resistividade superficial ajustada de 10⁶–10⁹ Ω/sq, obtida por meio de um processo proprietário de dopagem ou revestimento. Essas peças dissipam a carga estática de forma eficaz, prevenindo danos eletrostáticos a wafers e dispositivos semicondutores sensíveis. O material base mantém sua alta resistência à flexão (361 MPa), dureza (16 GPa) e rigidez dielétrica (15×10⁶ V/m). As peças cerâmicas resistentes a ESD incluem atuadores finais, pinos de elevação, trilhos-guia e dispositivos personalizados para automação em fábricas de semicondutores.

Especificações(Com base em 99,8% de Al₂O₃ com tratamento ESD):

Observação: A resistividade superficial ESD não está incluída nas tabelas de propriedades do material fornecidas. A faixa acima é o padrão da indústria para cerâmicas dissipativas. Entre em contato conosco para obter relatórios de testes.

Aplicações:

● Efetores finais resistentes a ESD para transferência de wafers

● Pinos de aterramento e dispositivos ESD em equipamentos de fabricação

● Teste as tomadas para dispositivos sensíveis à estática

● Ferramentas para salas limpas onde o controle de estática é fundamental

Fabricação e Qualidade:

Processamento padrão de alumina + tratamento de superfície ESD → resistividade superficial medida de acordo com a norma ANSI/ESD STM11.11. Cada peça é 100% testada com um eletrodo de anel concêntrico.

Vantagens:

● Previne perdas de rendimento relacionadas à descarga eletrostática (ESD)

● Mantém a resistência mecânica e química da cerâmica.

● Sem geração de partículas por descarga estática