Efetor final de cerâmica de alumina com canais de vácuo integrados
O atuador final de vácuo de alumina da St.Cera integra canais de vácuo e orifícios de sucção usinados com precisão diretamente no corpo de alumina de alta pureza (99,8%). Esse design elimina as almofadas de vácuo externas, permitindo a coleta direta do wafer com força de retenção uniforme. A alta resistência à flexão (361 MPa) e dureza (16 GPa) do material garantem estabilidade dimensional a longo prazo sob ciclos de vácuo repetidos. A planicidade em toda a área da almofada é mantida dentro de 10 μm, evitando tensão e quebra do wafer. As portas de vácuo estão localizadas na flange de montagem traseira para fácil integração com braços robóticos OEM.
Especificações(com base em 99,8% de Al₂O₃):
| Propriedade | Valor |
| Material | 99,8% de alumina (marfim) |
| Densidade | 3,93 g/cm³ |
| Resistência à flexão | 361 MPa |
| Dureza Vickers | 16 GPa |
| Módulo de Young | 380 GPa |
| Expansão Térmica | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Planicidade da almofada | ≤10 μm |
| Largura do canal de vácuo | 0,5–2,0 mm |
| Temperatura máxima de operação | 800°C |
Aplicações:
● Coleta a vácuo de wafers finos ou deformados
● Manuseio direto de wafers sem pinçamento pelas bordas
● Transferência de substrato para células solares e LEDs
Fabricação:
Bloco de alumina sinterizada → furação CNC de 5 eixos para canais e furos de vácuo → lapidação da superfície → limpeza ultrassônica → teste de vazamento de hélio. Cada atuador é 100% testado quanto à uniformidade do vácuo.
Vantagens:
● Sem ventosas externas (reduz as fontes de partículas)
● A pressão de retenção uniforme evita a marcação do wafer
● Quimicamente inerte e compatível com salas limpas
