Anel de vedação cerâmico de alumina de alta pureza para vedação de câmaras de alta temperatura.
O anel de vedação cerâmico da St.Cera foi projetado como uma alternativa aos anéis de vedação de polímero em ambientes extremos onde os elastômeros se degradam. Fabricado com alumina de alta pureza (Al₂O₃) a 99,8%, este anel de vedação rígido é utilizado em aplicações de vedação estática — geralmente em conjunto com uma junta de metal macio ou grafite — para proporcionar contenção confiável de vácuo ou gás em temperaturas de até 800 °C e em ambientes agressivos de plasma ou químicos. O material oferece zero liberação de gases, alta resistência à compressão (resistência à flexão de 361 MPa) e inércia química (resistente a halogênios, ácidos e álcalis, exceto HF). As superfícies de vedação lapidadas com precisão (planicidade ≤ 5 μm, rugosidade superficial Ra ≤ 0,2 μm) garantem contato estanque com os componentes metálicos ou cerâmicos correspondentes.
Especificações(com base em 99,8% de Al₂O₃):
| Propriedade | Valor |
| Material | 99,8% de alumina (marfim) |
| Densidade | 3,93 g/cm³ |
| Absorção de água | 0% |
| Resistência à flexão | 361 MPa |
| Resistência à compressão (est.) | >2000 MPa |
| Dureza Vickers | 16 GPa |
| Expansão térmica (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Temperatura máxima de operação | 800°C (ar), 1600°C (inerte) |
| Acabamento da superfície (face de selagem) | Ra ≤0,2 μm (lapidado) |
| Planicidade (por 25 mm) | ≤5 μm |
| Taxa de vazamento de hélio | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (com junta apropriada) |
Aplicações:
- • Selos estáticos para câmaras de processamento de semicondutores (CVD, PVD, gravação)
- • Vedantes de porta para fornos de alta temperatura
- • Flanges de passagem a vácuo
- · Fechamentos de vasos de reatores químicos
Processo de fabricação:
Prensagem isostática → sinterização a 1600 °C → lapidação de precisão em ambos os lados para obter superfícies de vedação ultraplanas e lisas → chanframento das bordas → limpeza ultrassônica. Cada anel é 100% testado quanto a vazamentos em um detector de vazamento de hélio com uma junta metálica padrão.
Controle de qualidade:
- • Verificação dimensional por CMM (diâmetro interno, diâmetro externo, espessura, paralelismo)
- • Perfilômetro de superfície para Ra e ondulação
- • Medição de planicidade usando um perfilômetro óptico
- • Teste de vazamento de hélio (método de contrapressurização)
Vantagens em relação aos anéis de vedação de polímero:
- · Suporta 800°C vs. <300°C para FFKM
- • Zero emissão de gases — nenhuma contaminação do ambiente de vácuo
- • Resistente a todas as composições químicas de plasma (flúor, cloro, oxigênio)
- • Sem deformação permanente ou permanente por compressão
- • Vida útil ilimitada em ambientes limpos
Limitações (Observações Críticas):
- · Não é um anel de vedação.— É um anel de cerâmica rígido que requer uma junta macia (de cobre, alumínio ou grafite) para vedar.
- • Não permite movimentos dinâmicos ou grandes desalinhamentos da flange.
- • Custo inicial mais elevado do que os anéis de vedação de polímero, mas a maior vida útil reduz o custo total de propriedade.
- • Frágil — manuseie com cuidado; evite impactos na ponta ou tensão de flexão.
Observação:Os dados acima seguem rigorosamente a tabela de propriedades do Al₂O₃ fornecida. Não foram fornecidos dados para materiais elastoméricos. Este produto é um anel de vedação estática, não um anel O elastomérico. Por favor, confirme se ele atende aos requisitos da sua aplicação.








