Efetor final de cerâmica de alumina de alta pureza para robôs de manuseio de wafers
O atuador final de cerâmica de alumina da St.Cera é usinado com precisão a partir de Al₂O₃ de alta pureza (99,8%) utilizando equipamentos avançados de retificação CNC de 5 eixos. Nossas capacidades de fabricação incluem retificadoras de precisão e centros de usinagem CNC, permitindo geometrias complexas com alta precisão. O atuador final apresenta um perfil fino (com espessura de até 1,5 mm) com uma borda de ataque afilada para inserção suave do wafer. O material proporciona alta rigidez (módulo de Young de 380 GPa), excelente resistência ao desgaste e estabilidade térmica de até 800 °C. Cada unidade é retificada com precisão para atingir planicidade de 0,003 mm, paralelismo de 0,002 mm e acabamento superficial de Ra 0,1, garantindo contato consistente com o wafer e operação livre de partículas em ambientes de fabricação de semicondutores. Disponível em comprimentos de 150 mm a 450 mm, com geometrias de ponta personalizadas (garra de borda, Bernoulli, plana) e flanges de montagem para adaptação a robôs OEM. As opções de acabamento de superfície incluem lapidação, polimento ou revestimento dissipativo ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq).
Especificações (com base em 99,8% de alumínio)₂O₃e capacidades de fabricação da St.Cera):
| Propriedade | Valor |
| Material | 99,8% de alumina (marfim) |
| Densidade | 3,93 g/cm³ |
| Resistência à flexão | 361 MPa |
| Dureza Vickers | 16 GPa |
| Módulo de Young | 380 GPa |
| Planicidade | 0,003 mm |
| Paralelismo | 0,002 mm |
| Acabamento da superfície | Ra0.1 (lapidado/polido) |
| Temperatura máxima de operação | 800°C |
| Faixa de comprimento | 150–450 mm |
Aplicações:
- Transferência de wafers em robôs a vácuo e atmosféricos
- • Dispositivos finais de automação para fabricação de wafers de 200 mm/300 mm
- • Manuseio de wafers finos (com opção ESD)
Capacidades de fabricação:
Nossas retificadoras de precisão e centros de usinagem CNC permitem a produção de componentes cerâmicos complexos com:
- • Comprimento máximo de usinagem: 1500 mm
- • Diâmetro externo máximo: 600 mm
- • Diâmetro interno mínimo: 0,2 mm
- • Espessura máxima: 100 mm
Controle de qualidade:
Retilineidade de 0,005 mm, perpendicularidade de 0,005 mm, circularidade de 0,002 mm, paralelismo de 0,002 mm e concentricidade de 0,01 mm, verificadas por CMM. Cada unidade é limpa por ultrassom e embalada em sala limpa Classe 100.
