Mandril de vácuo de alumina para corte e retificação de precisão
O mandril de vácuo de alumina da St.Cera é fabricado com Al₂O₃ de alta pureza (99,8%) e possui ranhuras de vácuo usinadas com precisão. Nossa capacidade de retificação de precisão garante planicidade de 0,003 mm e paralelismo de 0,002 mm, assegurando a fixação do wafer sem deformações durante o corte, retificação da face posterior e inspeção. O material oferece alta resistência à flexão (361 MPa), dureza (16 GPa) e estabilidade térmica de até 800 °C. Disponível em formatos redondos com diâmetro externo (DE) de até 600 mm e formatos retangulares com comprimento de até 1500 mm. As ranhuras de vácuo são projetadas sob medida (padrões concêntricos, radiais ou em grade) para atender a requisitos específicos do processo. Cada mandril é inspecionado com interferômetro a laser e fornecido com um relatório de verificação de planicidade.
Especificações (com base em 99,8% de alumínio)₂O₃e capacidades de fabricação da St.Cera):
| Propriedade | Valor |
| Material | 99,8% de alumina (marfim) |
| Densidade | 3,93 g/cm³ |
| Resistência à flexão | 361 MPa |
| Dureza Vickers | 16 GPa |
| Diâmetro externo (máx.) | 600 mm |
| Espessura (máxima) | 100 mm |
| Comprimento (máximo) | 1500 mm |
| Planicidade | 0,003 mm |
| Paralelismo | 0,002 mm |
| Acabamento da superfície | Ra0,1 |
| Temperatura máxima de operação | 800°C |
Aplicações:
- • Corte e marcação de wafers (200 mm/300 mm e maiores)
- • Retificação da face posterior de wafers finos
- • Inspeção e sondagem óptica
- • Manuseio de substratos grandes
Precisão na fabricação:
- • Retilineidade: 0,005 mm
- • Perpendicularidade: 0,005 mm
- • Circularidade: 0,002 mm
- • Concentricidade: 0,01 mm
