Braço de cerâmica para manuseio de wafers com precisão e formatos complexos.

Descrição resumida:

Evitar a dispersão de partículas que podem ser geradas pelas bordas chanfradas ou angulares e pela superfície traseira durante o transporte dos wafers ou quando estes entram em contato com o atuador final/braço de manuseio.

Para as guias, foi adotado um material macio que não danifica o wafer.

O afinamento é possível graças à tecnologia de canal de vácuo integrada da ST.CERA, que não utiliza adesivos.

É possível fazer furos de montagem e alterar o comprimento e a largura da base onde o atuador final/braço de manipulação é montado no robô.

Sensores de montagem, parafusos e suportes estão disponíveis como opcionais.

Projetado para ser usado na atmosfera