Núcleo cerâmico de alumina de alta pureza para dispositivos de fixação de semicondutores
O núcleo cerâmico de alumina da St.Cera é fabricado com precisão a partir de Al₂O₃ de alta pureza (99,8%), oferecendo excepcional rigidez dielétrica (15×10⁶ V/m), estabilidade térmica até 1600 °C e resistência à fluência sob carga. Esses núcleos são utilizados como componentes estruturais em dispositivos de processo de alta temperatura, bases de aquecedores, revestimentos de câmaras de plasma e isoladores elétricos. A alta dureza do material (16 GPa) e a baixa absorção de água (0%) garantem confiabilidade a longo prazo em ambientes agressivos.
Especificações(com base em 99,8% de Al₂O₃):
| Propriedade | Valor |
| Material | 99,8% de alumina (marfim) |
| Densidade | 3,93 g/cm³ |
| Resistência à flexão | 361 MPa |
| Tenacidade à fratura | 3–4 MPa·m¹/² |
| Dureza Vickers | 16 GPa |
| Módulo de Young | 380 GPa |
| Condutividade térmica | 32 W/m·k |
| Expansão térmica (25-1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Rigidez dielétrica | 15×10⁶ V/m |
| Resistência específica | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Temperatura máxima de operação | 1600°C |
Aplicações:
- · Núcleo de aquecimento para reatores epitaxiais
- • Revestimento da câmara de plasma e placas de cobertura
- · Isoladores elétricos de alta tensão
- • Base de fixação para robôs de manuseio de wafers
Fabricação:
Prensagem isostática → usinagem a verde → sinterização a 1600 °C → retificação CNC até as dimensões finais (tolerância de ±0,01 mm). Cada núcleo é inspecionado por CMM e detecção de falhas por ultrassom.
Garantia da Qualidade:
Certificação ISO 9001:2015. Teste de líquido penetrante para detecção de fissuras superficiais; teste de rigidez dielétrica conforme ASTM D149.
AVantagens em relação a outras cerâmicas:
- • Maior rigidez dielétrica que a zircônia (15 vs <10×10⁶ V/m)
- • Custo inferior ao do SiC para aplicações sem plasma
- • Excelente resistência química aos halogênios (exceto HF)
Formas personalizadas:
Cilindros, barras quadradas, placas ou geometrias complexas. Dimensão mínima dos elementos: 0,5 mm.
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