Efetor final de cerâmica de carboneto de silício (SiC) – Alta rigidez para manuseio de wafers em altas temperaturas
O atuador final de cerâmica SiC da St.Cera é fabricado com carbeto de silício de alta pureza (teor de SiC de 99,72%, Si livre de 0,05%) utilizando o lote de material S1111. Oferece propriedades mecânicas excepcionais: resistência à flexão de 449 MPa (medida), módulo de elasticidade de 457 GPa (medido) e dureza Vickers de 25–28 GPa (típica). A baixa densidade (3,10–3,15 g/cm³, típica) proporciona alta rigidez específica, ideal para robôs de transferência de wafers de alta velocidade. Com condutividade térmica de 120–150 W/m·K (típica) e coeficiente de expansão térmica de 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (típico), este atuador final dissipa o calor de forma eficaz e mantém a estabilidade dimensional durante o manuseio em altas temperaturas (até 1600–1700 °C, sem carga). A cor preta/cinza e a absorção zero de água garantem a compatibilidade com salas limpas.
Especificações(com base no relatório de teste SiC S1111 fornecido e valores típicos)):
| Propriedade | Valor |
| Material | SiC (99,72% SiC, 0,05% Si livre) |
| Cor | Preto/Cinza |
| Densidade | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Absorção de água | 0% |
| Resistência à flexão | 449 MPa (média) |
| Tenacidade à fratura | 3,12 MPa·m¹/² (média) |
| Módulo de elasticidade | 457 GPa |
| Dureza Vickers | 25–28 GPa |
| Condutividade térmica (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Temperatura máxima de utilização (sem carga) | 1600–1700°C |
Aplicações:
● Manuseio de wafers em alta temperatura (pós-recristalização, RTP, epitaxia)
● Câmaras de gravação a plasma que exigem alta resistência à erosão
● Robôs de transferência de alta velocidade (leves, de alta rigidez)
Fabricação:
Sinterização de pó de SiC → retificação CNC de precisão do perfil do braço e das características de montagem → lapidação da superfície → limpeza ultrassônica. Inspeção dimensional completa e teste de vazamento de hélio para aplicações de vácuo.
Controle de qualidade:
● Inspeção por CMM de comprimento, largura e planicidade
● Teste de resistência à flexão por lote (conforme padrão do relatório de teste)
● Inspeção visual ao microscópio para detecção de defeitos superficiais
Vantagens em relação à alumina ou ao metal:
● Módulo de elasticidade 2 vezes maior (457 vs ~380 GPa para alumina) – menor deflexão
● Condutividade térmica 3 vezes maior – dissipação de calor mais rápida
● Suporta temperaturas superiores a 1600 °C, enquanto a alumina suporta apenas 800 °C no ar.
● Densidade inferior à do aço – redução de peso de 40%
Personalização:
Comprimentos de 150 a 450 mm, formatos de ponta (aderência lateral, Bernoulli, plana), padrões de flange de montagem conforme desenho do fabricante original.
*Todos os dados mecânicos acima provêm do relatório de ensaio fornecido (lote S1111). Os valores térmicos e de dureza são típicos para esta classe de SiC; entre em contato conosco para obter a certificação específica do lote.*
