Braço robótico de cerâmica de alumina de alta pureza para manuseio de wafers
O braço robótico de cerâmica de alumina da St.Cera é projetado com precisão a partir de Al₂O₃ (alumina) de alta pureza (99,8%). Ele combina excepcional resistência à flexão (361 MPa), alta dureza (16 GPa) e baixa densidade (3,93 g/cm³), resultando em um braço leve e rígido para a transferência de wafers semicondutores. O coeficiente de expansão térmica do material (7,2×10⁻⁶/°C) é bastante semelhante ao do silício, minimizando a incompatibilidade térmica durante o processamento.
Especificações (com base em 99,8% de Al₂O₃):
| Propriedade | Valor |
| Cor | Marfim |
| Densidade | 3,93 g/cm³ |
| Resistência à flexão | 361 MPa |
| Dureza Vickers | 16 GPa |
| Módulo de Young | 380 GPa |
| Condutividade térmica | 32 W/m·k |
| Expansão Térmica | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Rigidez dielétrica | 15×10⁶ V/m |
Aplicações:
- Robôs de transferência de wafers a vácuo (200 mm/300 mm)
- Sistemas de manuseio atmosférico
- Braços de atuador final para automação de fábricas
Processo de fabricação:
Prensagem isostática → usinagem a verde → sinterização a 1600 °C → retificação de precisão CNC → limpeza ultrassônica → embalagem em sala limpa classe 100. Cada braço é 100% inspecionado por CMM quanto à planicidade (±0,01 mm) e rugosidade superficial (Ra ≤0,4 μm).
Controle de qualidade:
A St.Cera possui certificação ISO 9001:2015. Realizamos testes de líquido penetrante para microfissuras, ensaios de flexão em três pontos para resistência à flexão e ensaios de rigidez dielétrica conforme a norma ASTM D149.
Vantagens em relação aos braços de metal:
- 50% mais leve que o aço inoxidável
- Sem corrosão galvânica
- Menor geração de partículas (≤0,05 partículas/cm²)
- Revestimento antiestático disponível (10⁶–10⁹ Ω/sq)
Personalização:
Comprimentos de 150 mm a 450 mm, formatos de ponta (aderência lateral, Bernoulli, vácuo) e padrões de flange de montagem conforme desenhos do fabricante original. Protótipos em 2 semanas.
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