Anel de isolamento de alumina para sistemas de deposição física de vapor (PVD)
O anel de isolamento PVD da St.Cera é fabricado com alumina de alta pureza (Al₂O₃) a 99,8% para uso em sistemas de deposição física de vapor (PVD). O anel proporciona isolamento elétrico entre os componentes da câmara, prevenindo arcos elétricos e garantindo a operação estável do plasma. Suas principais propriedades incluem alta rigidez dielétrica (15×10⁶ V/m), resistividade >10¹⁴ Ω·mm²/m e estabilidade térmica de até 1600 °C. Nossas capacidades de usinagem de precisão permitem atingir diâmetros externos de até 600 mm, diâmetros internos de até 0,2 mm, planicidade de 0,003 mm e acabamento superficial Ra0,1. A porosidade zero e a inércia química do anel garantem confiabilidade a longo prazo em ambientes agressivos de pulverização catódica.
Especificações (com base em 99,8% de alumínio)₂O₃e capacidades de fabricação da St.Cera):
| Propriedade | Valor |
| Material | 99,8% de alumina (marfim) |
| Densidade | 3,93 g/cm³ |
| Resistência à flexão | 361 MPa |
| Dureza Vickers | 16 GPa |
| Rigidez dielétrica | 15×10⁶ V/m |
| Resistência específica | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Diâmetro externo máximo | 600 mm |
| Diâmetro interno mínimo | 0,2 mm |
| Espessura máxima | 100 mm |
| Planicidade | 0,003 mm |
| Paralelismo | 0,002 mm |
| Acabamento da superfície | Ra0,1 |
| Temperatura máxima de operação | 1600°C |
Aplicações:
- • Isoladores de placa de suporte alvo em sistemas PVD
- · Isoladores de passagem de câmara
- • Isoladores de anel de blindagem em sistemas de pulverização catódica
- • Isolamento de alta tensão em câmaras de plasma
Precisão na fabricação:
Concentricidade: 0,01 mm, circularidade: 0,002 mm, retilineidade: 0,005 mm, perpendicularidade: 0,005 mm, verificada por CMM.
AVantagens em relação aos isoladores de polímero:
- • Suporta 1600 °C, enquanto o limite do polímero é de <300 °C.
- • Sem liberação de gases – mantém a integridade do vácuo
- • Resiste à erosão por plasma e a ataques químicos.
Personalização:
Disponibilizam-se seções transversais personalizadas, opções de montagem, perfis escalonados e múltiplos designs de anéis concêntricos.
