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ST.CERA Equipamentos semicondutores personalizados, mandris de cerâmica
Os processos críticos na área de semicondutores exigem que sejam realizados em salas limpas, especialmente para dispositivos que precisam ser usados em condições de alta temperatura, vácuo e gases corrosivos. Os materiais cerâmicos, por sua vez, mantêm alta estabilidade em ambientes físicos e químicos complexos.
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ST.CERA Equipamentos semicondutores personalizados Placa cerâmica
Os processos críticos na área de semicondutores exigem que sejam realizados em salas limpas, especialmente para dispositivos que precisam ser usados em condições de alta temperatura, vácuo e gases corrosivos. Os materiais cerâmicos, por sua vez, mantêm alta estabilidade em ambientes físicos e químicos complexos.
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Anel de foco cerâmico semicondutor personalizado ST.CERA
Os processos críticos na área de semicondutores exigem que sejam realizados em salas limpas, especialmente para dispositivos que precisam ser usados em condições de alta temperatura, vácuo e gases corrosivos. Os materiais cerâmicos, por sua vez, mantêm alta estabilidade em ambientes físicos e químicos complexos.
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Braço de carregamento ST.CERA personalizado em cerâmica de alumina 99,5%
O braço de manuseio/efetor final de cerâmica é instalado em robôs de manuseio de wafers, também conhecidos como "efetores finais", e é usado para transportar wafers de silício para dentro ou para fora de cassetes ou câmaras de processamento.
As vantagens da utilização de cerâmica incluem a redução da deflexão devido à elevada resistência à flexão, a resistência a altas temperaturas e a eliminação da contaminação por metais e partículas. -
ST.CERA Efetor final de cerâmica de alumina personalizado
A ST.CERA oferece revestimento ESD e material cerâmico ESD para atuadores finais. Fabricados com pó de alumina de alta pureza, processados por prensagem isostática a frio, sinterização em alta temperatura e acabamento de precisão, podem atingir tolerância dimensional de ±0,001 mm, acabamento superficial Ra 0,1 e resistência à temperatura de 1600℃.
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Anel de foco cerâmico semicondutor personalizado ST.CERA
Fabricadas em cerâmica de alumina de alta pureza (acima de 99,5%), formada por prensagem isostática a frio e sinterizada em alta temperatura, e posteriormente usinada e polida com precisão, as peças de reposição em cerâmica atendem a quaisquer requisitos rigorosos de equipamentos semicondutores, graças às suas características de resistência ao desgaste, resistência à corrosão, baixa expansão térmica e isolamento.
Graças às suas características de alta resistência à temperatura, resistência à corrosão, resistência à abrasão e isolamento, a cerâmica pode ser utilizada por longos períodos em diversos tipos de equipamentos de produção de semicondutores, mesmo em condições de alta temperatura, vácuo ou gases corrosivos.
Fabricado a partir de pó de alumina de alta pureza, processado por prensagem isostática a frio, sinterização a alta temperatura e acabamento de precisão, pode atingir uma tolerância dimensional de ±0,001 mm, acabamento superficial Ra 0,1 e resistência à temperatura de 1600℃.
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Bucha de cerâmica de alumina de precisão personalizada para semicondutores ST.CERA
Fabricadas em cerâmica de alumina de alta pureza (acima de 99,5%), formada por prensagem isostática a frio e sinterizada em alta temperatura, e posteriormente usinada e polida com precisão, as peças de reposição em cerâmica atendem a quaisquer requisitos rigorosos de equipamentos semicondutores, graças às suas características de resistência ao desgaste, resistência à corrosão, baixa expansão térmica e isolamento.
Graças às suas características de alta resistência à temperatura, resistência à corrosão, resistência à abrasão e isolamento, a cerâmica pode ser utilizada por longos períodos em diversos tipos de equipamentos de produção de semicondutores, mesmo em condições de alta temperatura, vácuo ou gases corrosivos.
Fabricado a partir de pó de alumina de alta pureza, processado por prensagem isostática a frio, sinterização a alta temperatura e acabamento de precisão, pode atingir uma tolerância dimensional de ±0,001 mm, acabamento superficial Ra 0,1 e resistência à temperatura de 1600℃.
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ST.CERA Efetor final de vácuo de cerâmica de alumina personalizado
Trata-se de um braço de manuseio/efetor final de cerâmica tipo bandeja, utilizado em condições de vácuo.
O braço de manuseio/efetor final de cerâmica é "mais resistente ao calor", "menos deflectivo" e "mais leve" em comparação com os de metal.
Graças às suas características de alta resistência à temperatura, resistência à corrosão, resistência à abrasão e isolamento, a cerâmica pode ser utilizada por longos períodos em diversos tipos de equipamentos de produção de semicondutores, mesmo em condições de alta temperatura, vácuo ou gases corrosivos.
Fabricado a partir de pó de alumina de alta pureza, processado por prensagem isostática a frio, sinterização a alta temperatura e acabamento de precisão, pode atingir uma tolerância dimensional de ±0,001 mm, acabamento superficial Ra 0,1 e resistência à temperatura de 1600℃.
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Tubos e hastes cerâmicas personalizadas da ST.CERA com 99,5% de alumina.
Graças às suas características de alta resistência à temperatura, resistência à corrosão, resistência à abrasão e isolamento, a cerâmica pode ser utilizada por longos períodos em diversos tipos de equipamentos de produção de semicondutores, mesmo em condições de alta temperatura, vácuo ou gases corrosivos.
Fabricado a partir de pó de alumina de alta pureza, processado por prensagem isostática a frio, sinterização a alta temperatura e acabamento de precisão, pode atingir uma tolerância dimensional de ±0,001 mm, acabamento superficial Ra 0,1 e resistência à temperatura de 1600℃.
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Manuseio de wafers com atuador final de cerâmica de alumina personalizada ST.CERA
A ST.CERA oferece revestimento ESD e material cerâmico ESD para braços de manuseio/efetores finais com canal oco integrado. Somos especializados em uma técnica que forma um canal de vácuo dentro de uma única peça de material sem o uso de adesivo.
Não há risco de contaminação, desgaseificação ou partículas. O braço de manuseio/efetor final a vácuo da ST.CERA, com tecnologia de revestimento especial, possui isolamento elétrico. Também podemos fornecer material cerâmico ESD com isolamento elétrico sem qualquer revestimento.
Fabricado a partir de pó de alumina de alta pureza, processado por prensagem isostática a frio, sinterização a alta temperatura e acabamento de precisão, pode atingir uma tolerância dimensional de ±0,001 mm, acabamento superficial Ra 0,1 e resistência à temperatura de 1600℃. -
Componentes de equipamentos semicondutores com atuador final de cerâmica de alumina
Evitar a dispersão de partículas que podem ser geradas pelas bordas chanfradas ou angulares e pela superfície traseira durante o transporte dos wafers ou quando estes entram em contato com o atuador final/braço de manuseio.
Para as guias, foi adotado um material macio que não danifica o wafer.
O afinamento é possível graças à tecnologia de canal de vácuo integrada da ST.CERA, que não utiliza adesivos.
É possível fazer furos de montagem e alterar o comprimento e a largura da base onde o atuador final/braço de manipulação é montado no robô.
Sensores de montagem, parafusos e suportes estão disponíveis como opcionais.
Projetado para ser usado na atmosfera.
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Usinagem CNC personalizada do atuador final de cerâmica St.Cera
A ST.CERA oferece um braço de manuseio/efetor final de cerâmica a vácuo com um canal oco integrado. Somos especializados em uma técnica que forma um canal de ar a vácuo dentro de uma única peça de material, sem o uso de adesivo.
Não há risco de contaminação, desgaseificação ou partículas. O braço de manuseio/efetor final a vácuo da ST.CERA, com canal integrado, é durável e pode ser usado em altas temperaturas. Além disso, nosso custo de fabricação pode ser reduzido eliminando montagens desnecessárias.
Fabricado a partir de pó de alumina de alta pureza, processado por prensagem isostática a frio, sinterização a alta temperatura e acabamento de precisão, pode atingir uma tolerância dimensional de ±0,001 mm, acabamento superficial Ra 0,1 e resistência à temperatura de 1600℃.
