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ST.CERA personalizou o braço carregador de cerâmica de alumina 99,5%

ST.CERA personalizou a imagem em destaque do braço cerâmico do carregador de alumina 99,5%
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ST.CERA personalizou o braço carregador de cerâmica de alumina 99,5%

Pequena descrição:

O braço de manuseio / efetor final de cerâmica é instalado em um robô de manuseio de wafer ou “efetores finais” e usado para transportar wafers de silício para dentro ou para fora de cassetes ou câmaras de processo.
Os benefícios do uso da cerâmica são a redução da deflexão devido à alta resistência à flexão, resistência a altas temperaturas e eliminação de contaminação e partículas metálicas.


Detalhes do produto

Etiquetas de produto

Detalhes do produto

Com características de resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão, resistência à abrasão e isolamento, a cerâmica pode funcionar em muitos tipos de equipamentos de produção de semicondutores com condições de alta temperatura, vácuo ou gás corrosivo por um longo tempo.

Feito de pó de alumina de alta pureza, processado por prensagem isostática a frio, sinterização em alta temperatura e acabamento de precisão, o End Effector cerâmico pode atingir a tolerância de dimensão de ± 0,001 mm, acabamento superficial Ra 0,1, resistência à temperatura 1600 ℃.

O End Effector de cerâmica com cavidade pode trabalhar em alta temperatura de 800 ℃ devido à tecnologia exclusiva de ligação de cerâmica.

Aqui estão as características da cerâmica de alumina com pureza diferente.

parâmetros do produto

logotipo

ST.CERA CO., LTD.

Folha de dados de materiais

Propriedades Unidade Alumina (Al2O3)
99% Al2O3 99,5% Al2O3 99,8% Al2O3 99,9% Al2O3
Cor - Branco Marfim Marfim Marfim
Densidade g/cm3 3,88 3,90 3,93 3,95
Absorção de água % 0 0 0 0
Tamanho de grão μm 2~5 2~5 2~5 2~4
Resistência à Flexão MPa 350 360 361 350
Resistência à fratura MPa·m1/2 3~4 3~4 3~4 3~4
Dureza Vickers GPa 14 15,5 16 16
Módulo elástico de Young GPa 370 370 380 390
Condutividade térmica C/m·k 28 32 32 34
Coeficiente de Expansão Térmica 10-6/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
Constante dielétrica - 9,5 9.6 9.6 9,9
Ângulo de perda dielétrica - 0,0001 0,0001 0,0001 0,0001
Rigidez dielétrica V/m 15×106 15×106 15×106 15×106
Resistência Específica Ω·mm2/m ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

Processo de produção

Granulação por spray → pó cerâmico → Formação → Sinterização em branco → Desbaste → Usinagem CNC → Moagem fina → Inspeção de dimensões → Limpeza de embalagem

Detalhes essenciais

Local de origem: Hunan, China
Material: Cerâmica de Alumina
Código HS: 85471000
Capacidade de fornecimento: 100 unidades por mês
Prazo de entrega: 3-4 semanas
Pacote: caixa de papelão ondulado, espuma, caixa
Outros: Serviço de personalização disponível

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